株式会社 理学相原精機

テクノロジー

当社は、創業時より長年手掛けてきた精密機械加工、高い精度を必要とする機械組立の技術を核に、理科学計測装置の周辺機器などの受託設計・製作を行ってまいりました。またそれらの過程で、当社既存の技術に、真空装置や微動装置の設計・製作など、貴重な経験と実績を加えながら、新しい技術分野へも挑戦してまいりました。 特に近年は、真空度10-11Paレベルの超高真空内で駆動するステージや、無潤滑で長期間連続稼動する高真空ステージ。さらには数十ナノ(ナノは百万分の一mm)オーダーの振動を防止する高剛性ステージなど、非常に高度な技術的要素を含むご要求にも積極的に取組んでおります。

 

目次
精密機器 …

○精密位置決め装置 ○電子線関連装置 ○X線関連装置 ○精密加工部品

 

真空装置 …

○真空容器 ○真空内駆動装置 ○真空排気系 ○排気系制御

 

産業機器 …

○自動化設備 ○検査・試験設備 ○省力化設備 ○治工具

 

 

 

精密機器

最先端の分析・計測システムには、高精度の位置決め装置が不可欠です。当社は、高精度角度位置決め装置[ゴニオメーター]や、複数の駆動軸をもって複雑な動きをする[多軸ステージ]など、微動装置と呼ばれる、高精度位置決め装置を設計・製作しております。市販の標準機種では対応できない仕様に、回転角・駆動軸数・移動距離など、顧客様のご要求仕様に合わせオーダーメードで対応いたします。

特に工業用X線回折装置用ゴニオメーターや電子顕微鏡用精密ステージなど、工業用分析装置や計測装置の分野においては、長年にわたり様々な種類の数多くの製品を供給させていただいております。 

 

高精度ゴニオメーター

X線は全ての物質中を直進し透過すると思われていますが、物質の持つ結晶により特定の回折線を生じます。これを利用したのがX線回折装置です。X線回折装置ではX線の回折角度をより精密に測定することが、正確な分析を行う上で重要です。当社では1/25,000度という世界トップクラスの分解能を誇るゴニオメーターを製作しています。

 

電子顕微鏡ステージの精度

微細化の進む半導体技術

例えば300のウェハー上で、5μm角の部品を探すのは?

300のウェハーを東京ドームのグラウンドの広さ、約13,000㎡に例えると

東京ドームのグラウンドに散らばる無数の米粒の中から、特定の1粒を探し出すような作業です。もし高精度で再現性の良いステージがなければ、一度観察した部品をもう一度見ようと思っても、先ず探しだすのは不可能でしょう。

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真空装置

 X線や電子線を応用した分析・計測装置は真空内で利用される場合が多く、当社では真空容器を始め、真空中で使用される機器の設計・製作も行っております。特に、高真空・超高真空内における放出ガス対策は、材料や潤滑材の選定など高度な設計・製造技術に加え、経験と実績が要求される分野です。

 

 

製作実例の技術的特長

10-11Pa対応超高真空ステージ

  • 潤滑油ステージ(摺動部に特殊コーティングを採用)
  • 真空脱ガス処理と窒素パージ
  • 真空内部品の鏡面仕上げ
  • メタルパッキンと真空ベローズによる外部駆動構造の採用

 

非磁性真空容器対応ステージ
  • 全パーマロイチャンバー
  • 板厚25㎜立方体チャンバー、真空ブレージング構造
  • 潤滑油5軸ステージ(摺動部に特殊コーティングを採用)
  • 125Lを超える大容量で、到達真空度 10-5Pa領域を実現

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産業機器

 顧客様の仕様による、各種設備機器に対応いたします。近年は、単なる省力機器のみならず、熟練作業者を必要とする高度な作業や劣悪な環境下での作業など、人間が行うのも困難な作業に対応する高度な自動化製造装置や検査装置にも取組んでおり、ご要求によってはシーケンサーやパソコンなどを利用し、制御部のハード・ソフトを含め一貫した装置の製作もお受けいたします。また、生産現場などでご使用になる、各種治工具などの設計・製作も承っております。 

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